生产品。
而且使用的零部件并不像asml公司极紫外光刻机一样多。
要知道那台极紫外光刻机内部零件数量多达10万个、4万个螺栓、3000根电线、2公里短软管等等,整台机器重量高达180吨。
在赵玄眼中就是大力出奇迹的产物,无限堆叠起来的设备,虽然能解决10nm以下硅芯片的生产问题,但2nm以下摩尔定律失效之后,就已经不够用了。
但离子光刻机只有5000多个零部件,重量只有59吨多,和初级制造台的外形一摸一样,算是将《戴森球计划》中的技术应用完全了。
真正的科技应该是极尽简单,使用的零部件越少越好。
“赵总,现在原型验证机已经组装完毕了,我们要测试一下吗?”
饶易饶有脸上带着激动的表情,看着赵玄,当初的一面之缘,让他没想到竟然能够接触到这种设备。
一开始还不相信的他,在看到最终成型的设备之后不禁感慨赵玄的设计能力,这么复杂的设备,赵玄一个人能够有条不紊的将所有设计思路理清,想到就非常难。
当然,实验室内不止他一个人感到不可思议,魏俊也是一样,从机床那边调过来,没想到研究的竟然是光刻机,还是高精度光刻机,即在情理之外,又在意料之中。
虽然只是原型验证机,但魏俊依旧不敢大意,只有真正试生产过,才能证明技术的成熟度。
“可以,不过就交给你们了,现我得去休息一下放空放空脑袋。”
从开始画设计图,赵玄就把心思放在了这台光刻机上,不得不说,哪怕自己已经掌握所有技术原理,加上纳米级机床,完成起来都很不简单,怪不得光刻机是高端制造业的代表性产物。
尤其是实验室内这台和初级制造台一摸一样的产物,赵玄算是将初级制造台芯片生产的模块单独组装生产出来一样。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
现在碳纳米管材料技术,赵玄还没有时间去研究,所以光刻机验证工作,只能靠现有的硅芯片来做。
只不过离子光刻机可以省去非常多的步骤,根本不需要曝光处理,光刻胶都不需要使用,直接通过离子束进行蚀刻。
碳纳米管芯片以及硅芯片在使用离子光刻机生产时,两者生产流程是一样的。
尤其是这台离子光刻机使用的操作系统就是纳米级数控机床上的操作系统,魏俊他们正好熟悉。
这也是为什么魏俊和饶易会觉得赵玄颠覆他们认知的原因所在,这样的技术,赵玄竟然不愿意去写成论文发表在相关国际期刊上,要多可惜有多可惜。
不过,好处就是技术以及设计图都在赵玄脑海以及实验室电脑
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